위험관리와 생명보험 『가계나 기업에 있어서 우연한 사건(발생의 유무, 시기, 정도를 미리 예측할 수 없는 것)으로 인해 경제적으로 손해가 발생할 가능성』에 대한 대비 조기사망 및 고도장애 위험- 보장성보험 (정기보험 Term Life Insurance) , (종신보험 Whole Life Insurance) 폐질, 질병, 장애, 사고 위험-건강보험 (Health Insurance) 노령화와 소득상실 위험-연금 (Golden Age) 생명보험의 피보험이익 피보험이익이란? 보험계약으로 보호 받고자 하는 이익 또는 보험의 목적에 대한 보험사고의 발생과 관련하여 피보험자 또는 수익자가 가지는 경제적 이해관계 상법 제668조-(보험계약의 목적) 보험계약은 금전으로 산정할 수 있는 이익에 한하여 보험계약의 목적으로 ..
전자 리소그래피 광 리소그래피보다 해상도가 좋으나, 느린 노광 비율(시간당 웨이퍼 수) 초점이 맞춰진 전자의 흐름이 전자 레지스트를 감광시키기 위한 에너지를 공급하고, 원하는 패턴을 기록하기 위해 전자빔을 스캔함 전자 빔을 조정하기 위해 필요한 정보는 컴퓨터에 저장되고, 마스크는 사용되지 않음 나노 임프린트 고해상도 리소그래피는 고가이나, 나노 임프린트는 고해상도이면서 저가 미세 패턴을 만드는데 전자 리소그래피가 사용되고, 그 패턴으로 “스탬프(stamp)”를 만든 후, 스탬프를 이용해서 웨이퍼 표면 위의 부드러운 코팅에 압착시켜 미세 패턴 자국(imprint)을 만들고, 코팅이 단단해지면 미세 패턴이 웨이퍼 상에 복제됨 스탬프는 많은 웨이퍼를 생산하기 위해 반복 사용됨
네거티브 레지스트 빛에 감광된 영역은 폴리머가 되고 용매에 녹이는 것이 더 어렵게 됨 현상액(용매)에 넣으면 폴리머가 된 영역은 남고, 감광되지 않은 영역은 용해되어 씻겨 나감 포지티브 레지스트 현상액 내에서 레지스트의 용해율을 늦추는 안정제를 포함하고 있음 이 안정제는 빛에 노출되면 파괴되므로, 노광된 영역이 선택적으로 제거됨 산화물 제거 완충된 플루오르화 수소산(buffered HF)을 사용하여 산화물 제거 포토레지스트 제거 레지스트 스트립 용액으로 제거하거나, 애셔(asher)라고 하는 산소 플라즈마나 UV 오존 시스템 속에서 산화하거나 연소시켜 제거 리소그래피 해상도 리소그래피 해상도=kλ (k 인자는 렌즈 시스템과 광마스크 기술에 의존) 248nm와 193nm(깊은 UV)의 레이저 광원 사용 더..