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전자 리소그래피
광 리소그래피보다 해상도가 좋으나, 느린 노광 비율(시간당 웨이퍼 수)
초점이 맞춰진 전자의 흐름이 전자 레지스트를 감광시키기 위한 에너지를 공급하고, 원하는 패턴을 기록하기 위해 전자빔을 스캔함
전자 빔을 조정하기 위해 필요한 정보는 컴퓨터에 저장되고, 마스크는 사용되지 않음
나노 임프린트
고해상도 리소그래피는 고가이나, 나노 임프린트는 고해상도이면서 저가
미세 패턴을 만드는데 전자 리소그래피가 사용되고, 그 패턴으로 “스탬프(stamp)”를 만든 후, 스탬프를 이용해서 웨이퍼 표면 위의 부드러운 코팅에 압착시켜 미세 패턴 자국(imprint)을 만들고, 코팅이 단단해지면 미세 패턴이 웨이퍼 상에 복제됨
스탬프는 많은 웨이퍼를 생산하기 위해 반복 사용됨
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